لودا نوح POU

عملية ترموستاتي تحكم مصممة خصيصا لصناعة أشباه الموصلات .– 20إلى90 درجة مئوية

نظام التحكم في درجة الحرارة من lauda-noah بو الحرارية يمكن أن توفر التحكم في درجة الحرارة من أجل تكرار النقش البلازما التطبيقات . دينامية التحكم في درجة الحرارة من كهرباء تشاك ( ESC ) يجعل من الممكن تطبيق بو في جميع أنواع النقش العمليات .

كفاءة عالية ، وتوفير الطاقة ، وتوفير الفضاء ، ولكن أيضا يمكن التحكم في درجة الحرارة بشكل مطرد ، هذا النظام الذكي يمكن أن تحسن إلى الكمال waver waver التوحيد .