سطح ثلاثي الأبعاد profilometer

سطح ثلاثي الأبعاد profilometer SLYNX هو نوع جديد من عدم الاتصال تصميم الصناعية ومعاهد البحوث .سطح ثلاثي الأبعاد profilometerانها بسيطة في التصميم و تنوعا في الاستخدام . Slynx قادرة على قياس مختلف المواد ، والهياكل ، وخشونة السطح وموجة ، تغطي تقريبا جميع أنواع تضاريس السطح . متعددة الوظائف قياس يمكن أن تلبي مجموعة واسعة من التطبيقات . جوهر sensofar هو دمج ثلاثة قياسات لضمان الأداء . مع sensoscan نظام البرمجيات ، يمكن للمستخدمين الحصول على تجربة بديهية بشكل لا يصدق .

مجال التطبيق :

• صناعة السيارات
• الالكترونيات الاستهلاكية
• صناعة الطاقة
• شاشات الكريستال السائل
• علم المواد
• الإلكترونيات الدقيقة
• مايكرو التصنيع
• علم الحفريات الدقيقة
• الأجهزة البصرية
• آلة صناعة تجهيز
• صناعة أشباه الموصلات
• صناعة الساعات

ثلاثة في واحد تكنولوجيا القياس

( أ ) التركيز الكلي

متحد البؤر تقنية يمكن استخدامها لقياس تضاريس السطح من مختلف العينات . مقارنة مع المجهر الضوئي ، فإنه يمكن الحصول على أعلى القرار الجانبي تصل إلى 0.10um . . . . . . . عند استخدام عدسة مع 150 مرة و 0.95 الفتحة العددية ، المنحدر هو قياس 70 درجة على سطح أملس ( 86 درجة على سطح خشن ) . خوارزمية متحد البؤر يضمن تكرار قياس محور Z في فئة النانو .

التدخل

الضوء الأبيض المسح الرأسي التداخل ( VSI ) هي تقنية قوية تستخدم على نطاق واسع لقياس خصائص السطح ( مثل التشكل أو فيلم شفافة الهياكل ) . هو أكثر مناسبة لأنّ قياس من سطح أملس إلى معتدلة خشونة السطح ، بغض النظر عن نا أو تكبير عدسة الهدف التغييرات ، يمكن أن توفر مستوى النانومتر عمودي القرار .

( أ ) تراكب البؤري المتعدد

متعدد البؤر تراكب تقنية تستخدم لقياس خشونة السطح . استنادا إلى تجربة غنية من أجهزة الاستشعار في التركيز و interferometry الانصهار ، هذه الوظيفة مصممة خصيصا لتلبية الحاجة من انخفاض القوة البؤر القياس . تسليط الضوء على هذه التكنولوجيا هو سريع ( مم / ث ) ، مسح واسعة النطاق ، ودعم كبير المنحدر ( 86 درجة ) . هذه الميزة هي مفيدة بشكل خاص في الشغل ويموت قياس .