preheating انزلاق مزدوج درجة الحرارة نظام PECVD

تطبيق المنتج :اثنان

PECVD نظام يستخدم الترددات اللاسلكية تأين الغازات التي تحتوي على ذرات من الأفلام رقيقة ، وتشكيل البلازما في المنطقة المحلية .

تكوين المنتج :

تكوين نظام PECVD :

1.1200 درجة فتح نوع مزدوج درجة الحرارة فراغ فرن أنبوبي

2 - انزلاق النظام ينقسم إلى دليل الكهربائية انزلاق ، ونظام قياس درجة الحرارة في الأنابيب .

3 . التسخين نوع فتح أنبوب فرن كهربائي

4 . البلازما الترددات اللاسلكية السلطة

5 . متعدد القنوات نظام مراقبة تدفق الشامل

6 - نظام فراغ ( اختياري متوسطة أو عالية فراغ )

ميزات المنتج :

انخفاض درجة حرارة النمو ؛ معدل الترسيب السريع . فيلم تشكيل نوعية جيدة ، وتطبيق واسع النطاق ، معدات بسيطة .

تيانجين Zhonghuan فرن كهربائي المحدودة