التصنيع باستخدام الحاسب الآلي المجهر نيكون 1pm عالية الدقة ضوء التداخل

نيكون INSTECH ( المقر : طوكيو ) سوف أعرض عالية الدقة قياس التداخل الضوئي نظام المجهر " bw-m7000 " ( الشكل 1 ) . هذا النظام يمكن قياس خصائص السطح من subnanometer إلى ملليمتر مع سرعة عالية ودقة عالية ( نمط السطح وخشونة المواد ، قطرة صغيرة على السطح ، الخ ) .

نيكون الذاتي المتقدمة طريقة لتحديد خصائص السطح ، أي التركيز على الاختلاف مع الضوء الأبيض interferometry الأسلوب . هذا الأسلوب يمكن أن تولد تدخل خطوط على السطح من المواد المستهدفة ، ويمكن تحديد موقع التركيز من كل بكسل مع دقة عالية . في هذه الطريقة ، يمكن تقييم خصائص سطح ثلاثي الأبعاد مع متوسط الارتفاع ( سا ) 0.1nm المستوى في جميع الأوقات من 2.5 مرة ( مجال الرؤية 4.4 × 4.4mm ) إلى 100 مرة ( مجال الرؤية 111.0 × 110 μ m ) . سوبر سطح أملس إلى سطح خشن يمكن قياسها في وضع واحد دون الحاجة إلى استبدال مكونات مثل مرشحات بصرية . وبالإضافة إلى ذلك ، فإن التداخل الطيفي يستخدم لقياس سماكة الفيلم . فيلم شفافة مع سمك 1 نانومتر إلى 40 ميكرون يمكن قياسها في أقل من 0.1 ثانية .

فائدة نموذج يمكن أن ندرك تماما التلقائي قياس من خلال برنامج التحكم ، ويمكن تلقائيا تنفيذ عمليات التركيز ، ضبط الميل من العينة ، الحكم على ما إذا كانت مؤهلة أو لا . فائدة نموذج يمكن تلقائيا قياس العديد من المجالات البصرية ، ويمكن استخدامها بسهولة في إدارة الجودة في الموقع ، بالإضافة إلى خط المواجهة من المواد البحث والتطوير .

التصنيع باستخدام الحاسب الآلي المجهر نيكون bw-m7000 مجهز الكهربائية س ص محور الجدول مع السكتة الدماغية 300 * 300 ملم ، الكهربائية محور Z التكبير الجدول مع السكتة الدماغية 200 ملم . أشباه الموصلات القابلة للقياس LED、 أنواع كثيرة من العينات ، مثل فيلم المواد ، المواد الجزيئية العالية ، الآلات الدقيقة أجزاء ( الشكل 2 ، الشكل 3 ) . عندما شكل السطح من بت * هو قياس ، المشبك يمكن استخدامها للحفاظ على حالة ثابتة عموديا .