لي ل التلقائي عالية الدقة مولر مصفوفة ellipsometry

نوع المنتج

لي ل التلقائي عالية الدقة مولر مصفوفة ellipsometry

السمات الرئيسية

1 ، وذلك باستخدام مصباح الديوتيريوم ، مصباح هالوجين مركب مصدر الضوء ، الطيف تغطي الأشعة فوق البنفسجية الأشعة تحت الحمراء القريبة المدى ( 193-2500nm ) .

2 ، يمكن تحقيق مولر مصفوفة معالجة البيانات ، وقياس كمية أكبر من المعلومات ، قياس السرعة ، بيانات أكثر دقة

3 ، على أساس تكوين مزدوج الدورية المعوض ، 16 عناصر مصفوفة مولر يمكن الحصول عليها في وقت واحد ، والتي يمكن الحصول على المزيد من المعلومات الشاملة من التقليدية ellipsometry الطيفية

4 ، لضمان مجموعة واسعة من الطيف ، وتوفير جودة عالية ومستقرة الطيف الترددي

5 ، مئات من أنواع المواد قاعدة البيانات ، مجموعة متنوعة من نموذج قاعدة البيانات ، التي تغطي معظم المواد الكهروضوئية

6 ، ودمج تحليل نانو مقضب ، في وقت واحد يمكن قياس وتحليل هيكل نانو الفترة ، خط العرض ، خط الطول ، زاوية الجدار ، خشونة وغيرها من المعلومات الهندسية

المعلمات التقنية

1 . تطبيق : بحث مستوى / مشروع مستوى

2 - المهام الأساسية : PSI / دلتا ، ص / ر ، مولر مصفوفة ، الخ .

3 . التحليل الطيفي : 380-1000nm ( دعم التوسع إلى 210-1650nm )

4 . قياس وقت واحد : 1-8s

5 . تكرار دقة القياس : 0.005nm

6 . دقة ( مباشرة من خلال قياس الهواء )

ellipsometric المعلمة : φ = 45 ± 0.05 ° △ = 0 ± 0.1 °

مصفوفة مولر : عنصر قطري م = 1 ± 0.005 ؛ عنصر غير قطري م = 0 ± 0.005

7 ، حجم بقعة : بقعة كبيرة 2-3mm ؛ بقعة صغيرة 200

التكوين الاختياري

اختيار الفرقة

V: 380-1000nm

الأشعة فوق البنفسجية: 245-1000nm

XN: 210-1650nm

DN +: 193-2500nm

اختيار زاوية

أوتوماتيك : 45-90 °

دليل : 55-75 ° ( 5 ° خطوة ) ، 90 °

ثابت : 65 °

خيارات أخرى

اختيار الخريطة : 100 * 100mm ( للرجوع اليها ، حسب الطلب )

التحكم في درجة الحرارة : درجة حرارة الغرفة 600C ( للرجوع اليها ، حسب الطلب )

الملحقات الاختيارية

1

التحكم في درجة الحرارة الجدول

2

توسيع وحدة رسم الخرائط

3

مضخة تفريغ

4

نقل وحدة الامتزاز