فرن التليين السريع

وصف المنتج :

RTP100 الحقيقينوع فرن التليين السريع هو كورياشركة ULTECHشركة4باستخدام تكنولوجيا التدفئة المبتكرة ، يمكن قياس درجة حرارة الركيزة الحقيقية ، لا تحتاج إلى استخدام التقليدية فرن التليين السريع تعويض درجة الحرارة ، والتحكم في درجة الحرارة دقيقة ، وارتفاع درجة الحرارة التكرار ، العملاء ، بما في ذلك العديد من شركات أشباه الموصلات الدولية وفريق البحث العلمي ، هو عملية الصلب شبه الموصلة الخيار المثالي .

ن الميزات التقنية :

وصحيح قياس درجة حرارة الركيزة التقليدية دون تعويض درجة الحرارة

والأشعة تحت الحمراء مصباح هالوجين أنبوب التدفئة

ودرجة حرارة التدفئة ممتازة الدقة والاتساق

وأرقام سريعةPIDالتحكم في درجة الحرارة

والفولاذ المقاوم للصدأ الباردة الجدار فراغ الغرفة

واستقرار النظام

والمدمجة ، مصغرة نظام سطح المكتب

ومع شاشة تعمل باللمسالكمبيوتر الشخصيالسيطرة

ومتوافق مع الغلاف الجوي فراغ البيئة .ثري تورباستخدام مضخة فراغ الجزيئية الثانوية5 × 10-6 تور

و3طريق الغاز )MFCالسيطرة (

ولا عبر التلوث ، لا تلوث المعادن

ن مقدمة فنية :

كما هو موضح أعلاه ، الحرارة المنبعثة من مجموعة مصباح هالوجين يمر من خلال نافذة الكوارتز على سطح العينة ، العينة ساخنة ، التقليدية فرن التليين السريع يستخدم المزدوجات الحرارية لقياس درجة حرارة الركيزة .

RTP100 الحقيقينوع فرن التليين السريع يستخدم ورقة خاصةحقيقي T / C KITقياس درجة الحرارة ، كما هو موضح أعلاه ، ترمومتر الحرارية ورقةحقيقي T / C KITربط ورقة العملحقيقي T / C KITمجموعة مصباح هالوجين يشع حرارة تصل إلى سطح العينة من خلال نافذة الكوارتز .حقيقي T / C KITوفي الوقت نفسه ، يتم تسخينها .حقيقي T / C KITقريبة جدا من بعضها البعض ، كما أنها تحمل على نقل الحرارة ، وتحقيق التوازن الحراري بسرعة ، لذلكحقيقي T / C KITقياس درجة الحرارة بشكل غير محدود على مقربة من درجة الحرارة الحقيقية من الركيزة ، وبالتالي تحقيق قياس درجة الحرارة الحقيقية من الركيزة .

ن المعلمات التقنية الرئيسية :

وحجم الركيزة :4بوصة

وقاعدة الركيزة : الكوارتز دبوس ( اختياري )سيكالجرافيت المطلي (

ومدى درجة الحرارة :150-1250℃

ومعدل التسخين :10-200 ℃ / ثانية

ودرجة الحرارة التوحيد :≤ ± 1.5 ٪ (@ 800 ℃ ، ورقة السيليكون)

≤ ± 1.0 ٪ (@ 800 ℃ ، الركيزة على حساس الجرافيت المغطى بالسيك)

ودقة التحكم في درجة الحرارة :≤ ±3℃

ودرجة الحرارة التكرار :≤ ±3℃

و真空度：5.0e-3-to / 5.0e-6-to

وإمدادات الغاز : القياسية1طريق .N2تطهير و تبريد الهواءMFCالتحكم ( اختياري كحد أقصى )3طريق

ومدة التلدين :≥ 35min@1250 ℃

والتحكم في درجة الحرارة : أرقام سريعةPIDالسيطرة

وحجم870 مم * 650 مم * 620 مم

ننوع الركيزة :

وشرائح السيليكونرقاقة السيليكون

وشرائح أشباه الموصلات المركبةمجمع أشباه الموصلات الركازة

وGaN / زعفران لوحات لمصابيح LEDللاستخدامالصمامالغانالياقوت الركيزة

وشرائح كربيد السيليكونكربيد السيليكون الركيزة

ولوحات البولي السيليكون للخلايا الشمسيةالبولي سيليكون الركيزة الخلايا الشمسية

والركائز الزجاجيةالركيزة الزجاج

والمعادنمعدن

والبوليمراتالبوليمرات

-مستحضرات الجرافيت وكربيد السيليكونالجرافيت كربيد السيليكون المغلفة الجرافيت قاعدة

نمجال التطبيق :

زرع الأيوناتوالاتصال الصلب ، المعالجة الحرارية السريعة(RTP)الصلب السريع(RTA)الأكسدة الحرارية السريعة(RTO)نيترة الحرارية السريعة(RTN)يمكن استخدامها في بيئة مختلفة مثل فراغ ، جو خامل ، الأكسجين ، الهيدروجين ، خليط الغاز ، الخ .SiAu، SiAl، SiMoالسبائك ، وانخفاض المواد العازلة ، crystallization ، التكثيف ، الخلايا الشمسية رقاقة الربط ، الخ .