فراغ عالية جدا غرفة متعددة المادية بخار ترسب نظام

سوبرفراغ عالية متعددة غرفة ترسيب الأبخرة الكيميائية ( الترسيب الفيزيائي للبخار )

هذا النظام هو المصنعة من قبل الشركات المصنعة للمعدات المهنية ترسب ، تكوين مجموعة متنوعة من طرق الترسيب ( محفوظة واجهة وظيفية مختلفة ) ، درجة عالية من المرونة ، ومناسبة جدا لمجموعة متنوعة من أنماط ترسب البحث العلمي .

في الوقت الحاضر ، نظام فراغ عالية جدا شرط إيداع واسطة ( فقط باستخدام مضخة ميكانيكية + مضخة الجزيئية ، والحد من فراغ يمكن أن تصل إلى 5x10e-10torr ) . مجموعة متنوعة من أنماط الترسيب ، نفس التجويف لتحقيق مجموعة متنوعة من أساليب الترسيب ، الترسيب المصدر أنماط :
المغنطرون الاخرق المصدر
شعاع الالكترون التبخر المصدر
مصدر البخار الساخن
هذا النظام هو درجة عالية من المرونة ، والبرمجيات عملية مريحة ، والمهنية معهد البحوث ترسب الفيلم فائقة النقاء ، هو حقا عالية فراغ نظام الترسيب .
المعلمات التقنية :
فراغ الحد : < 5x 10e-10 تور ( بعد 24 ساعة من الخبز والتبريد ) ؛
طلاء التوحيد : < 3%
عينة التسليم : سهولة وضع الركيزة
مجلس الوزراء : هيكل صغير احتلال الفضاء ؛
عينة طاولة عمل : دوران , تدفئة , تحميل انحياز ;
عينة عملية : قبل ضخ فراغ الغرفة ;
حجم العينة : 1 ، 2 ، 3 ، 4 ، 8 ، 12 ، الخ .
رصد سماكة الفيلم : الكوارتز الكريستال مِيزَان دَقِيق ellipsometry , . . . . . . .
الخبز : المدمج في التدفئة أو العزل الخارجي التدفئة ؛
بسيطة ومريحة التلقائي بالكامل عملية البرمجيات : التلقائي بالكامل استخراج فراغ و البرنامج يعمل تلقائيا .